クリーンルームパネル

クリーンルームパネル 測定に使用されるすべての機器および装置は、規制に従って識別、校正、または校正されなければなりません。測定前に、システム、クリーンルーム、機械室などを徹底的に清掃する必要があります。洗浄とシステム調整後、リーク検出やその他の項目を測定する前に、一定期間連続して実行する必要があります。

 

(1) クリーンルーム測定の手順は大まかに以下のとおりです。
1. ファン送風 2. 室内清掃 3. 風量調整 4. 中効率フィルタ取り付け 5. 高効率フィルタ取り付け 6. システム運転 7. 高効率フィルタ漏れ検知 8. 風量調整 9. 室内静電気調整圧力差の測定 10. 温度と湿度の調整 11. 単相流クリーンルーム全体の平均速度と不均一速度の決定 12. 室内温度の決定清浄度 13. 室内浮遊菌・沈降菌の測定 14. 生産設備に関わる作業・調整

 

(2) 試験の根拠
仕様書、図面、設計書、機器等の技術情報を以下の2つに分類して掲載しています。
1. 設計図書、設計変更認証文書、関連契約書、竣工図。
2. 機器の技術情報。
3. 「クリーン ワークショップの設計に関する規定」GB50073-20012、建設および設置に関する「換気および空調プロジェクトの建設品質の承認に関する規定」GB50243-2002

 

02検出方法と結果判定
(1) 風量または風速の試験
1. 設計要件を伴うサンプリングおよびテスト領域。
2. 風量と風速は、浄化空調装置のさまざまな効果を検出するために最初にテストする必要があり、設計された風量と風速の条件で取得する必要があります。
①乱流クリーンルームシステムの測定風量値は、それぞれの設計風量値より大きくなければなりませんが、20%を超えてはなりません。測定された外気量と設計された外気量の差は、設計された外気量の±10%を超えてはなりません。各室内排気口の風量は、それぞれの設計風量の差が設計風量の±15%を超えてはなりません。
②一方向層流クリーンルームで測定された平均室内風速は、設計風速より大きくなければなりませんが、20%を超えてはなりません。測定された外気の総量と設計された外気の量の差は、設計された外気の量の ±10% を超えてはなりません。

 

3. 運用プロセスと判断
①乱流クリーンルーム
ａ．フィルタのない吹出口については、総合効率による一般換気空調吹出口の風量試験方法が使用できます。
b.フィルタ付吹出口の場合、吹出口形状に合わせて補助吹出口を選択できます。すなわち、内部空気出口と同じ断面で、空気出口の一辺の長さの２倍の長さを有する直管部を硬質板で形成し、フィルタ空気出口の外側に接続する。エアダクトの出口面には、測定点を最低6点以上均等に配置し、各点の風速を熱球型風速計で測定する必要があります。風量は、吹出口の平均風速と吹出口の正味断面積を乗じて求めてください。

c.同様の拡散板を備えた吹出口については、拡散板の風量抵抗曲線と実際の拡散板の抵抗値から求めることができます。風量を測定する場合は、微圧計とピトー管を使用するか、ピトー管の代わりに細いゴム管を使用します。ただし、両方を使用する必要があります。測定穴の平面は空気の流れの方向に対して垂直であるため、測定値は静圧値を正確に反映します。
d.ウィンドフード法を使用して風量を測定します
風量フードを使用して各吹出口の風速を測定する場合、対応する吹出口風速はVs=Asとなります。
Vs------各末端フィルターまたは給気ディフューザーの平均給気速度 m/s;
Qs------各末端フィルターまたは給気ディフューザーの給気量 m3/s;
として------排気面積はm2です。

 

②一方向流～層流クリーンルーム
一方向流クリーンルームは、平均風速と部屋断面の断面積を乗じて給気量を求める方法を採用しています。垂直一方向流層流クリーンルームの測定断面は、地上から水平断面0.8mとします。水平一方向流れ層流クリーンルーム 給気面から0.5m離れた垂直断面を採取します。断面上の測定点間の距離は 2m 以下、測定点の数は 10 点以上である必要があります。機器は熱球風速計を使用して均等に配置する必要があります。

 

③エアダクト内の風量を測定する
吹出口の風上側に長い枝管部があり、穴加工済みまたは穴加工が可能な場合は、エアダクト法により風量を求めることができます。測定セクションと局所抵抗成分の間の距離は、パイプ直径の 5 倍以上、または局所抵抗成分の後ろのサイズの 5 倍以上である必要があります。サイドの長さ。
長方形のエアダクトの場合は、測定セクションをいくつかの等しい小さなセクションに分割します。各小さなセクションは、できる限り正方形の辺の長さに近づける必要があります。測定点は 200mm を超えず、小さなセクションの中心に設定するのが最善です。ただし、断面全体の測定点の数はそれ以下であってはなりません。 3へ。
円形のエアダクトの場合は、等積リング法により測定区間と測定点数を分割してください。具体的には、総合効率一般換気空調ダクト法により風量を測定することができる。

 

(2)室内静圧差試験
1. 機器、装置および環境測定器：傾斜マイクロマノメータ、デジタルマイクロマノメータなど。周囲温度は常温または設計温度です。
2. 設計要件に基づいて隣接するエリアで抜き取り検査を実行します。

 

3. 静圧差試験結果は次の規定に適合する必要があります。
① 隣接する異なる階層のクリーンルーム間およびクリーンルームと非クリーンルーム間の静圧差は 5Pa 以上であること。
②クリーンルームと屋外の静圧差は10Pa以上としてください。
③清浄度クラス100以上の一方向層流クリーンルームでは、ドアを開けた状態で出入り口の室内0.6m以内で室内レベルの上限を超える濃度を測定しないこと。開いた。

 

 

4. 運用プロセスと判断
①全てのドアを閉め、壁の穴から直径5mm以下の測定ホースを室内に伸ばします。空気の流れの方向に対して垂直に設置し、空気の流れを妨げないようにし、周囲の空気の流れへの影響を最小限に抑えます。
② 静圧差は、飛行機の最も内側の部屋 (通常は最も清浄度が高い部屋) とそのすぐ隣の部屋との間の圧力差から、最も外側のクリーン ルームと最も外側のクリーン ルームの間の圧力差がゼロになるまで測定する必要があります。測定した。周囲の補助環境と屋外環境の間の圧力差。
③ 清浄度レベル5以上の一方向層流クリーンルームの場合は、ドア開放時にドアから屋内作業面0.6m離れた高さのパーティクル数も測定すること。

 

 

5. 合格するまでの試験では、排気量と排気量に注意してください。

(3) エアフィルタの漏れ
1. 機器、装置および環境測定器、粉塵計数器およびエアロゾル発生器。周囲温度は常温または設計温度です。
2. 高効率フィルタ本体を現場にサンプリングする前に、製造業者は規制に従って性能試験を実施し、適合証明書を提出する必要があります。一方向流のクリーンルームに設置されている高効率エアフィルターは、1 つずつ漏れがないかテストする必要があります。乱流クリーンルームの場合、レベル 7 以下のクリーンルームでは、クリーンルームが必要な空気清浄度レベルに達している限り、リーク検出は実行されません。

 

3. 漏洩検査結果の技術的要件は、検査対象のフィルタの風下側から測定した漏洩濃度を透過率に換算するという条件を満たす必要があります。高効率フィルタの場合、フィルタの工場認定率の 2 倍を超えてはなりません。超高効率フィルターの場合、デバイスは工場で認定された透過率の 3 倍を超えてはなりません。

 

4. 操作プロセスと判断: フィルターのリーク検出は、設置されたエアフィルターのリーク検出を指し、空のクリーンルームまたは静的なクリーンルームに適しています。
給気端と排気端に設置される高効率フィルターの場合は、スキャン方式を使用してフィルター設置フレームと全セクションの漏れを検出する必要があります。スキャン方式にはリークディテクター方式、光度計方式、パーティクルカウンター方式があり、最小サンプリング量は1L/minです。

 

 

(4) 空気清浄度レベル
1. 機器、装置および環境測定器、粉塵計数器。周囲温度 クリーン ルーム領域の温度と相対湿度は、その生産およびプロセスの要件に適合する必要があります。

 

2. サンプリングポイントの位置と数
①清浄度測定ごとの最小サンプリング量。
② 各クリーンエリアの最低サンプリング回数は 3 回です。クリーンエリア内にサンプリングポイントが 1 つしかない場合は、そのポイントで少なくとも 3 回サンプリングを行う必要があります。

 

③ 期待される空気清浄度レベルがレベル 4 以上に達し、サンプリング量が多い環境では、ISO14644-1 の付録 F に規定されている逐次サンプリング方法を使用できます。

 

3. 技術的要件
①各採取点の平均粒子濃度 Ci が清浄度レベルで指定された限界以下であること。
②全サンプリング点の平均粒子濃度 N の 95% 上限信頼限界が清浄度レベルで指定された限界以下であること。

 

4. 運用プロセスと判断
① 機器の電源を入れて安定状態まで暖めた後、取扱説明書に従って機器の校正、自己チェック、自己校正、およびゼロカウントを行うことができます。
② サンプリング管口のサンプリングポイントでサンプリングする場合、カウントが安定していることを確認してから連続読み取りを開始できます。
③測定誤差を避けるために、カウンターサンプリングポートと機器の作業位置は同じ気圧と温度でなければなりません。
④ 一方向流のクリーンルーム用サンプリングポートの場合、サンプリングポートは空気の流れの方向を向く必要があります。乱流クリーン ルームのサンプリング ポートの場合、上向きのサンプリング速度は室内の空気流の速度にできるだけ近づける必要があります。

 

 

5. クリーンルーム内の空気中の浮遊粒子を検出・サンプリングする際の注意点
① 静的試験中は、室内に試験者を 2 名以下にしてください。テストレポートには、テスト中に使用された状態を示す必要があります。
② 一方向の流れの場合は、浄化空調システムの通常の運転時間が 10 分以上経過した後に試験を開始し、非一方向の流れの場合は 30 分以上後に開始する必要があります。
③本器の校正周期に従って定期的に校正を行う必要があります。楽器自体の特性、使用頻度、使用環境等により異なります。
④各サンプリングポイントは、計算された最小サンプリング量に従って空気をサンプリングすることができます。ただし、一般に使用するパーティクルカウンターのサンプリング量と時間設定によっては、実際のサンプリング量が最小サンプリング量よりも多くなる場合があります。
⑤ 測定の際、クリーンルームに入室する人は清潔な服装をし、エアシャワーを通過してください。屋内では風下の位置にいて、動かずにじっとしているようにしてください。

 

 

6. 室内浮遊菌と沈降菌 空気中の浮遊微生物を測定する方法は数多くありますが、捕獲・培養・計数することが基本となります。現在は浮遊菌と沈降菌の検査法が用いられています。

 

 

①機器、設備及び環境測定器 シャーレ、遠心微生物サンプラー、恒温器、浮遊菌及び定着菌の検査を行う前に、クリーンルーム内で検査を行うエリアの温度及び湿度が規定の条件を満たしていること、及び静圧差が規定されていること。規定の値に制御されること。 クリーンルーム内で試験を行うエリアは消毒済みです。

サンプリング前のサンプリング装置の準備とサンプリング後の処理は、高効率フィルター排気を備えた負圧実験室で実行する必要があります。テスト ステータスは静的または動的にすることができ、テスト ステータスはレポートに記載される必要があります。

テスター テスターは、環境の清浄度レベルを満たす作業服を着用する必要があります。静的テスト中は、屋内テスターは 2 名以下にしてください。

②サンプリングポイントの位置と数

屋内プランクトン測定点と清浄度測定点は同じでも構いません。サンプリングは、使用する機器の説明書に記載されている手順に従って実行する必要があります。テスト前の器具の消毒と滅菌には特別な注意を払う必要があります。沈降細菌を測定する場合、シャーレは代表的な場所に配置し、空気の流れの乱れが少ない場所に配置する必要があります。

③技術的要件：屋内浮遊菌および沈降菌が設計要件を満たしていること。

④運用プロセスと判断

 

 

浮遊菌の検査

ａ．まず、検査器具やシャーレの表面を厳重に消毒する必要があります。サンプラーが検査のために部屋に入ったら、消毒された部屋で使用される消毒剤で消毒する必要があります。クラス 5 クリーン ルームで使用されるサンプラーは、常にクリーン ルーム内に配置する必要があります。

b.検体採取者は清潔な衣服を着用し、手を消毒する必要があります。

c.真空ポンプを始動して装置内の残留消毒剤が 5 分以上蒸発するように空気を抜き、フローターンテーブルの速度を調整します。真空ポンプをオフにしてシャーレを入れ、蓋を閉めてサンプラーを調整します。

d.サンプリングポートをサンプリングポイントに設置後、サンプラー、真空ポンプ、回転タイマーの順にスイッチを入れ、サンプリング量に応じてサンプリング時間を選択します。すべてのサンプリングが完了したら、シャーレを逆さまにして 30-35 度の恒温槽に 48 時間以上置きます。

e.肉眼で直接数え、5-10倍の虫眼鏡を使用して抜けがないか確認します。プレート上に重複するコロニーが 2 つ以上ある場合は、2 つ以上のコロニーとして数えます。

 

 

沈降細菌の検査

レベル 5 の浄化室や層流ワークベンチのテストなどの一方向の流れの場合、浄化空調システムが 10 分以上正常に動作した後にテストを開始する必要があります。レベル 7、8 以上の精製室などの非一方向流の場合、試験は精製後に開始する必要があります。空調システムの通常の動作は 30 分以上開始してください。

ａ．サンプリング方法：準備したシャーレを所定のサンプリングポイントに置き、シャーレカバーを開けて培地表面を露出させて0.5時間放置した後、シャーレにカバーをかけて逆さまにします。

b.すべてのサンプリングが終了したら、シャーレを逆さまにして定温培養器に入れて培養します。 30-35度での潜伏時間は48時間以上です。培地の各バッチには、培地自体が汚染されているかどうかを確認するための対照試験が必要です。バッチごとに 3 つのペトリ皿を対照培養用に選択できます。

c.肉眼で直接コロニーを数え、5-10倍の拡大鏡を使用して漏れがないか確認します。シャーレ上に重複して識別できるコロニーが 2 つ以上ある場合でも、2 つ以上のコロニーとしてカウントされます。

 

 

⑤注意事項

ａ．検査の信頼性と精度を確保するために、検査機器は滅菌する必要があります。

b.人によるサンプルの汚染を防ぐためにあらゆる措置を講じてください。

c.培地、培養条件、その他のパラメータを詳細に記録します。

d.菌の種類が多く、違いが大きいため、計数する場合はシャーレの裏または表の透過光を利用するのが一般的です。シャーレの端に生えているコロニーを見逃さないように注意深く観察してください。細菌コロニーと培地の沈殿物の違いに注意してください。必要に応じて、顕微鏡を使用して識別します。

e.サンプルを採取する前に、各ペトリ皿の品質を注意深くチェックする必要があります。劣化、損傷、汚染が確認された場合は、廃棄してください。

 

 

(5) 室内気温と相対湿度

1. 機器、機器および環境 一般的に使用される機器および機器には、湿球温度計、乾球温度計、デジタル温度計および湿度計、水銀温度計などが含まれます。

2. 測定点の配置と数は上表のとおりです。

3. 技術的要件

①一定の温度要件がない場所では、温湿度計は設計要件を満たす必要があります。

②一定の温湿度が要求される場所において、各測定点の各温度における管理点からの温度偏差の最大値を総測定回数に対する割合として室温変動幅を累積統計曲線として作成します。ポイント。 90%以上の測定点で到達する偏差値は室温です。変動範囲は設計要件を満たす必要があります。相対湿度の変動幅は、室温の変動幅の原理に基づいて求めることができます。

 

 

(6) 単相流クリーンルームの平均速度と速度が不均一である

1. 計器および環境計器: 熱球風速計。周囲温度は常温または設計温度です。

2. 一方向流クリーンルームセクションの平均風速は、サンプリング中にテストする必要があります。

レベル 5 より高い清浄度レベルの一方向流クリーン ルームにおける断面風速の不均一性をテストする必要があります。清浄度レベル 5 の一方向流クリーン ルームは、設計で必要な場合にテストする必要があります。

 

 

3. 技術的条件

①測定された室内平均風速は設計風速より大きく、20％を超えてはなりません。

②次の式により計算される風速ムラが 0.25v1 を超えないこと。

 

 

4. 運用プロセスと判断

①風量や風速の試験においては、測定断面積、測定点数、測定器等が一方向層流クリーンルームの規定に適合すること。

② 風速を測定するときは、人が干渉したり風速計を保持したりすることを避けるため、測定スタンドを使用して風速計を固定することをお勧めします。測定時はアームを最長位置まで伸ばし、人体をプローブから遠ざける必要があります。

 

 

(7) 室内騒音

1. 機器および環境機器。設備騒音測定器は、信号周波数レンジアナライザを備えた騒音計です。周囲温度は常温または設計温度です。

2. 騒音設計要件に基づいて各場所をサンプリングして測定します。

3. 技術的要件: 屋内の騒音レベルは、「クリーン工場設計基準」GB50073-2001 の規定に準拠する必要があります。

01病院クリーン外科

風速、換気回数、静圧差、清浄度、温湿度、騒音、照度、細菌濃度。

02製薬業界クリーン作業場

空気清浄度、静圧差、風速または風量、気流パターン、温度、相対湿度、照度、騒音、自浄時間、設置フィルターの漏れ、浮遊菌、沈降菌。

03電子工業クリーン作業場

空気清浄度、静圧差、風速または風量、気流パターン、温度、相対湿度、照度、騒音、自浄時間。

04食品産業用クリーンルーム

指向性気流、静圧差、清浄度、浮遊細菌、空気沈降細菌、騒音、照度、温度、相対湿度、自浄時間、ホルムアルデヒド、グレード I 作業エリアの断面風速、展開穴風速、新鮮な空気の量。

 

 

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